자이스, 세미콘코리아서 EUV·3D 측정 장비 전시

ASML에 EUV 노광 장비용 반사 거울 독점 공급

독일 광학 회사 자이스는 다음 달 1일부터 3일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 ‘세미콘코리아 2023’에서 극자외선(EUV) 노광 장비 지원 도구와 3차원(3D) 측정 장비를 선보인다고 27일 밝혔다. 

세미콘코리아는 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 한국에서 주최하는 반도체 산업 전시회다.

자이스는 ▲반도체 ▲산업품질(현미경·측정기) ▲의료 ▲안경렌즈 4개 사업부를 뒀다. 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML에 EUV 노광 장비용 반사 거울을 독점 공급하는 것으로 알려졌다.

자이스의 마스크 측정 장비 ‘AIMS EUV’(사진=자이스)

자이스 한국지사 반도체마스크사업부(SMS)는 최신 EUV 기술에 활용되는 포토마스크 솔루션으로 액티닉 마스크 측정 장비 ‘AIMS(Aerial Imaging Measurement system) EUV’를 공개한다. AIMS EUV는 입증된 영역 이미지(Aerial Image)로 EUV 포토마스크를 검증하고 이미지를 분석해 정보 처리를 자동화한다.

자이스의 ‘3차원 단층촬영 계측 장비’(사진=자이스)

반도체프로세스컨트롤사업부(PCS)의 ‘3D 단층촬영(Tomography) 계측 장비’도 들고 나간다. 3D Tomography 계측 장비는 집속 이온 빔(FIB)으로 만든 각각의 단층을 주사전자 현미경(SEM)으로 3차원 재조합하고, 이를 통해 반도체 패턴의 나노미터 정확도를 분석한다.

자이스의 전자 현미경 ‘제미니셈’(사진=자이스)

현미경사업부(RMS)는 고해상도 관찰을 위한 주사전자 현미경 ‘제미니셈(GeminiSEM)’, 첨단 반도체 소재·패키징 3D 분석과 시제품을 제공하는 ‘크로스빔(Crossbeam)’을 소개한다.

자이스의 ‘크로스빔’ 현미경(사진=자이스)

품질솔루션사업부(IQS)의 3차원 X선(X-ray) 전산화 단층촬영(CT) 장비 ‘메트로톰(Metrotom)’도 준비했다.