신성이엔지, 반도체대전서 클린룸 장비 선보여

"국내 최초 클린룸 장비 FFU 국산화"

신성이엔지가 5일부터 7일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 반도체대전(SEDEX)에 클린룸 주요 장비를 선보였다.

클린룸이란 반도체·디스플레이 등을 만드는 청정실이다. 먼지·온도·습도 등을 제어한다. 산업용 공기청정기 팬필터유닛(FFU)은 초미세먼지까지 제어해 제품 품질과 생산수율을 높이는 클린룸 핵심 장비로 꼽힌다.

신성이엔지 관계자는 “1977년 설립된 신성이엔지는 1991년 국내에서 처음으로 클린룸 주요 장비 FFU를 국산화했다”며 “세계 시장 점유율 60%를 차지한다”고 말했다.

안윤수 신성이엔지 사장을 비롯한 반도체업계 관계자들이 5일 서울 삼성동 코엑스에서 열린 반도체대전 신성이엔지 전시장에서 최신 반도체 기술을 보고 있다.(사진=유혜진 기자)

신성이엔지는 FFU와 아울러 ▲기류 연동 시스템 ▲휘발성 유기화합물(VOCs) 제거 장비(V-master) ▲파티클(particle·먼지) 가시화 시스템 등을 들고 나왔다.

V-master는 신성이엔지가 2005년 개발한 장비다. 로터(rotor·회전 부분)로 공장과 클린룸 VOCs를 없앤다.

신성이엔지 산업용 공기청정기 팬필터유닛(FFU)(사진=신성이엔지)

기류 연동 시스템은 클린룸 위와 옆에 설치돼 장비 내부 압력을 유지하고 깨끗한 공기를 공급한다. 공기가 거꾸로 흐르면 장비 안에 있는 기류 방향 표시기가 알아챈다. FFU 팬을 돌려 공기가 올바른 방향으로 가게끔 한다.

파티클 가시화 시스템은 반도체 불량을 일으키는 미세한 먼지를 볼 수 있게 하는 장비다. 오염 원인을 파악하고 해결하는 데 쓴다.

신성이엔지의 휘발성 유기화합물 제거 장비 'V-master'(사진=신성이엔지)

신성이엔지 관계자는 “3차원(3D) 프린팅 기술로 클린룸 장비를 개발한다”며 “적은 비용으로 빠르게 설계하고 생산한다”고 말했다.