SK하이닉스 "반도체 노광공정용 네온가스 국산화"

"국내 업계 최초…TEMC·포스코와 2024년 100% 국산화 목표"

SK하이닉스는 5일 반도체 필수 원료인 네온(Ne) 가스를 국산화했다고 밝혔다.

SK하이닉스는 지난 4월부터 반도체 노광 공정에 국산 네온을 쓰고 있다. 네온 사용량의 40%를 국산으로 대체했다. 2024년에는 모두 국산 네온으로 쓰기로 했다.

포스코에서 국산 네온을 생산하고 TEMC가 가공해 SK하이닉스에 공급한다. TEMC·포스코의 기존 설비로 네온을 만들었다. 공기에 조금 있는 네온을 채취하려면 대규모 공기 분리 장치(ASU플랜트)가 필요해 초기 투자 비용이 많이 든다. 

이렇게 만든 국산 네온을 SK하이닉스가 평가·검증했다. SK하이닉스는 수급 불안 요소를 미리 없애고자 협력사와 손잡았다고 설명했다.

SK하이닉스 이천캠퍼스타워(사진=SK하이닉스)

네온은 반도체 노광 공정에 쓰는 엑시머 레이저 가스의 주요 재료다. 엑시머 레이저 가스는 매우 짧은 파장 자외선인 엑시머 레이저를 만든다. 반도체 실리콘 원판(웨이퍼) 위에 미세한 회로를 새길 때 쓴다. 엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이지만 이는 공기 중에 0.00182%밖에 존재하지 않는 희귀 자원이라고 SK하이닉스는 소개했다.

SK하이닉스는 내년 6월까지 식각 공정에 쓰는 크립톤(Kr)과 제논(Xe) 가스도 국산화하기로 했다. 식각 공정은 노광 공정으로 웨이퍼 위에 새겨진 회로 밖 필요없는 부분을 깎아내는 공정이다.

반도체 생산 노광 공정에 쓰이는 네온 가스(그림=SK하이닉스)

윤홍성 SK하이닉스 FAB원자재구매담당 부사장은 “SK하이닉스가 업계에서 처음으로 네온 가스를 국내에서 조달한다”며 “원자재 수급 위협을 피해 첨단 반도체 기술에 필요한 자원을 계속 확보할 것”이라고 말했다.