서플러스글로벌, 300mm 테스트 웨이퍼 첫 출하...R&D 파운드리 본격화

양산 R&D 원스톱 솔루션 제공

반도체 중고장비 기업 서플러스글로벌은 신사옥 R&D 파운드리 클린룸에서 300mm 테스트 웨이퍼를 첫 출하했다고 밝혔다.

서플러스글로벌은 반도체 관련 인력, 장비, 시설을 공유할 수 있는 반도체 장비 클러스터를 2021년 7월에 완공했다. 클러스터 안에서 R&D 파운드리 서비스를 제공하고자 192평(634m2) 규모의 클린룸을 설치했으며, 이번달부터 가동을 시작했다.

R&D 파운드리 클린룸에서 300mm PE TEOS 웨이퍼를 출하했다.(사진=서플러스글로벌)

최준영 서플러스글로벌 상무는 "지난 2년간 사업을 준비해서 서플러스글로벌이 생산한 첫번째 300mm 웨이퍼가 출하됐다"라며 "금번 생산된 300mm PE TEOS 웨이퍼는 CMP 소재, 장비 성능 평가를 위한 테스트 웨이퍼로서 반도체 양산공정에 활용된 장비로 생산하고 계측해 생산성과 품질을 확보하는데 강점이 있다"고 말했다.

서플러스글로벌은 앞으로 열 산화물 테스트 웨이퍼 등을 생산해 공급범위를 넓혀 나갈 계획이다. 또 해외 기업들과 협력해 국내 반도체 연구소를 대상으로 보다 다양한 고품질의 테스트 웨이퍼를 적기에 공급할 예정이다.

더불어 패턴이 없는 박막상태의 웨이퍼로 전기적 특성 분석 서비스를 제공해 반도체 소부장 기업은 물론이고 소자기업들에게 저비용으로 빠르고 정확한 선행 성능평가 결과를 제공할 방침이다.

김정웅 서플러스글로벌 대표는 "품질 검증된 테스트 웨이퍼 제공과 패턴이 필요 없는 전기적 특성 분석 서비스까지 양산 R&D 원스톱 솔루션 제공이 가능한 R&D 파운드리 사업의 첫 발자국"이라며 "반도체 중고장비를 활용해 다양한 테스트 웨이퍼를 생산하고, 전기적 분석을 통한 장비, 소재의 성능평가로 세계 반도체 R&D 생태계에 꼭 필요한 회사가 되겠다"고 전했다.

서플러스글로벌 R&D 파운드리 클린룸 PE TEOS 테스트 웨이퍼 첫 출하(사진=서플러스글로벌)

한편, 서플러스글로벌의 반도체 장비 클러스터에는 세계적인 반도체 기업들의 입주가 예정되어 있다. 이들 기업들과 협력을 통해 한국 반도체 관련 기업들에게 연구개발, 교육훈련 등의 다양한 솔루션을 제공할 예정이다.