세메스-대한기계학회, 제 5회 오픈 이노베이션 챌린지 시상

이물질 계측장비 기술 개발한 홍익대 팀 대상 수상

세메스가 대한기계학회와 공동으로 '오픈 이노베이션 챌린지' 행사를 온라인에서 개최했다. (사진=세메스)

반도체·디스플레이 제조 장비업체 세메스는 21일 '제5회 KSME(대한기계학회)-세메스 오픈 이노베이션 챌린지' 행사를 온라인에서 개최하고 우수논문 시상과 수상작 발표회를 가졌다.

이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야의 논문 공모전이다.

올해 공모전은 37개 연구기관으로부터 총 97편의 제안서를 접수해 우수 제안서 27편(전문가그룹 13편, 젊은 공학자그룹 14편)을 1차 선발한 뒤 최종 심사를 통해 대상 1팀(상금 1000만 원), 금상 2팀(각 500만 원), 은상 2팀(각 300만 원), 동상 6팀(각 100만원)을 각각 선정했다.

대상은 반도체 웨이퍼 플라즈마 클리닝 공정에서 발생하는 이물질 계측장비 기술을 개발한 홍익대팀(서정환·배성국·심광민·윤완식)이 수상했다.

금상은 고려대팀(젊은 공학자그룹)의 바이오 연료전지 개발과 한양대 팀(전문가그룹)의 다점법 나노 패턴웨이퍼의 스핀세정공정 전산모사가 차지했다.

세메스 강창진 대표는 “산학연 기술연계를 통해 개발된 첨단 미래기술이 반도체·디스플레이 장비산업에 접목될 경우 시너지 효과가 매우 클 것으로 기대하고 있다”고 밝혔다.