EVG, 마스크리스 노광 시스템 '리소스케일' 출시

EV 그룹(이하 EVG)이 마스크 없이 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새길 수 있는 마스크리스 노광 시스템 '리소스케일'을 출시한다고 23일 밝혔다.

리소스케일은 마스크 데이터를 실시간으로 전송해 노광 면적에 제한없이 즉각적인 공정이 가능한 것이 특징이다.

구체적으로 전체 기판 표면에 고해상도(2마이크로미터 L/S 이하)의 마스크리스 노광(회로새김)이 가능하며, 처리능력을 높일 수 있는 다중 노광 헤드 구성을 비록해 동적 정렬 모드와, 오토 포커스(AF)를 이용한 다이 레벨 보정 기술도 제공한다.

EVG 측은 "리소스케일은 기존 시스템보다 처리용량이 최대 5배 향상된 세계 최초의 대량생산용 시스템으로, 이미 몇 건의 주문을 수주해 올해 말부터 시스템 출하를 시작할 예정"이라며 "최근 반도체 소자 성능 향상을 위한 수직 적층이 늘어나면서 패키지의 복잡성도 증가, 리소그래피 공정에서의 다이 및 웨이퍼 레벨 설계를 동시에 채택할 수 있는 능력이 요구되고 있다"고 전했다.