제덱스가 유기발광다이오드 디스플레이 생산공정에서 이물질 검사를 통해 청정도를 높이는 다용도 입자계수기 'SM 시리즈'를 출시한다고 22일 밝혔다.
SM 시리즈는 독자적인 입자 채취 필름을 이용해 기존 표면입자계수기보다 입자 및 이물 계수 등의 오염제어가 용이한 것이 특징이다.
제덱스 측은 "SM 시리즈는 클리닝 용액을 멤브레인 필터로 여과할 때 클리닝 장치의 액체 중 입자를 검출하는 것도 가능하다"며 "클리닝 공정에 자주 쓰이는 초순수 등 각종 액중 입자를 관리해 공정의 효율성을 높인다"고 강조했다.
제댁스는 국내 표면입자계수기 전문 제조업체다. 세계 최초로 필름 채취 방식의 입자계수기와 입자 채취용 필름을 개발해 국내외 특허를 보유하고 있다. 주요 고객사는 삼성디스플레이와 삼성전자 등이다.
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☞용어설명 : 표면입자계수기
표면입자계수기는 코닝이나 세정을 마친 부품의 표면에 남아 있는 입자(파티클) 및 이물을 검사하는 장치를 말한다.
