램리서치, 효율 높인 식각장비 '센스아이' 출시

머신러닝 알고리즘 통해 웨이퍼 산출량 향상..식각 산출 밀도도 50% 개선

램리서치는 4일 최신형 플라즈마 식각 공정 반도체 장비인 '센스아이'를 출시한다고 밝혔다.

센스아이는 수집된 데이터를 통해 생산효율성을 향상시키는 머신러닝 알고리즘이 적용된 것이 특징이다.

램리서치에 따르면 센스아이는 공정과정에서 수집한 다양한 데이터를 분석해 특정 공정에 대한 개선 조치를 취할 수 있으며, 스스로 공정 변화를 최소화해 웨이퍼(반도체의 원재료) 산출량을 극대화하는 이점을 제공한다.

램리서치가 출시한 최신형 플라즈마 식각장비 '센스아이'. (사진=램리서치)

센스아이는 기존 대비 반도체 생산공장에서 차지하는 공간도 크게 줄었다. 반도체 공장에서 식각 장비(센스아이)가 차지하는 면적을 의미하는 식각 산출 밀도가 50% 넘게 개선됐다.

램리서치 관계자는 "반도체 제조사들이 초고밀도의 칩을 개발하면서 공정이 복잡해지고, 단계가 급속히 증가해 공장 내 프로세스 챔버가 늘어나고 있는 만큼 점유 공간이 작은 센스아이는 반도체 공장을 신축하거나 노드 간 기술을 전환할 때 큰 효과를 발휘할 것"이라며 "센스아이는 최고의 생산성을 구현하는 공정 성능으로 향후 10년간 로직 및 메모리 소자의 성장 로드맵을 지원할 수 있을 것"이라고 전했다.