[단독]핀펫특허 논란 확대…"TSMC도 침해"

KIP "TSMC, 기술 무단 사용한 증거 확보"

3차원(3D) 반도체 공정 기술인 핀펫(FinFET) 특허 논란이 일파만파로 퍼지고 있다. 삼성전자와 퀄컴, 글로벌파운드리, 애플 등에 이어 대만 파운드리 기업 TSMC도 고유의 특허 기술력을 침해했다는 논란에 휩싸였다.

17일 업계에 따르면 한국과학기술원(KAIST)의 자회사 카이스트IP(KIP)는 TSMC가 자사의 핀펫 기술 특허를 무단으로 사용했다는 증거를 확보하고 무역위원회에 불공정 무역 조사를 신청할 계획이다.

문제가 된 핀펫은 반도체 공정에서 칩의 소형화와 고성능화에 크게 기여한 기술로, 인텔·삼성전자·TSMC 등 업계 수위(首位)인 대다수 업체들이 사용하는 첨단 공정이다. 이 기술의 핵심은 반도체를 2차원(2D)에서 3D 입체구조로 만드는 것이다. '핀펫'은 돌출된 게이트 모양이 마치 상어 지느러미(Fin)와 비슷하다고 해서 붙은 이름이다.

주장의 요지는 TSMC도 지난 2013년부터 핀펫 기술을 도입해 이를 기반으로 한 모바일 애플리케이션프로세서(AP) 등을 제조해왔지만 특허 사용료를 일체 지불하지 않고 있다는 것이다. KIP는 앞서 TSMC의 주요 고객사인 애플도 산업기술인 핀펫 특허를 무단으로 침해했다고 보고, 무역위에 애플코리아의 아이폰·아이패드 특허권 침해 여부에 대한 사실 확인을 요청한 바 있다.

3D 핀펫(트라이게이트) 공정. (자료=인텔)

다만 이번 특허 침해 논란이 시일 내에 소송으로까지 연결될지는 아직 불투명하다. 삼성전자와의 소송에 대한 법원의 판결이 남아있는 상황이고, 이 판결은 향후 TSMC와의 소송 결과에도 영향을 미칠 것이기 때문이다.

미국 텍사스주 동부지방법원 1심 배심원단은 삼성이 KIP에 4억 달러(약 4천400억원)을 배상하라는 판결을 내린 상태다. 퀄컴과 글로벌파운드리에 대해선 특허 침해에 대한 고의성은 없지만 KIP의 특허권을 침해했다고 배심원단은 판단했다.

TSMC의 특허 침해 의혹은 앞서 진행된 삼성과의 소송이 KIP 측에 유리한 국면으로 접어들면서 자연스럽게 이어진 것이라는 관측도 나온다.

업계 한 관계자는 "미국 법원 배심원단이 핀펫에 대한 KIP의 특허를 인정한 것"이라며 "향후 법원의 판결에 달렸지만, 현재로선 KIP의 특허권으로 인정될 가능성이 크다"고 내다봤다.

이어 "TSMC와는 달리 미국 인텔은 KIP 측으로부터 특허 사용권을 얻어 이 기술을 사용하고 있다는 사실도 삼성전자와 TSMC가 특허를 침해하고 있다는 근거가 될 수 있다"고 봤다.

KIP는 이종호 서울대학교 전기·정보공학부 교수가 지난 2001년 발명해 2003년 미국에서 특허를 낸 핀펫 기술에 대한 특허 권한을 양도 받아 소송을 진행해 왔다. 이 교수의 핀펫 기술 특허는 2003년 당시 관련 기술을 개발하던 인텔·TSMC·삼성전자보다 근소한 차이로 앞서 출원됐다.