어플라이드, 고해상도 전자빔 검사 장비 출시

어플라이드머티어리얼즈가 디스플레이 업계 최초로 인라인 고해상도 전자빔 검사(EBR) 시스템을 출시한다고 26일 밝혔다.

OLED나 UHD 해상도 LCD 수율을 높이는데 초점을 맞춘 장비다.

현재 사용되는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함이나 사소한 결함의 구분, 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 비효과적인 편이다.

기존 SEM 분석의 경우, 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 든다. 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다.

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반면 신제품은 이런 단점을 개선해 빠르고 효과적으로 모바일 기기와 TV용 첨단 디스플레이 주요 결함을 발견할 수 있다. 반도체 소자 검사용 SEM, 대면적 디스플레이 진공 플랫폼 분야에서 쌓아온 역량을 기반으로 기존 단점을 해결한 신규 인라인 EBR 기술을 만든 것이다. 이 회사는 지난해 기준 글로벌 EBR 시장 점유율 70%을 차지하고 있다.

알리 살레푸어 어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 분야 및 글로벌 서비스 담당 부사장은 “신규 EBR 시스템은 자사가 가지고 있는 기존의 강력한 디스플레이 부문 장비 라인 중 가장 최신 제품으로, 고객사들이 OLED 및 LCD 제조 상 발생하는 주요 문제를 해결할 수 있도록 돕는다”며 “자사만의 독자적인 반도체 산출 기술 및 패널 수준의 주사전자현미경 기술을 통해 잠재 시장을 확장할 수 있게 됐다”고 설명했다.