SK하이닉스 “EUV 장비, 2019년 10나노 양산 시점에 도입”

SK하이닉스는 26일 실적발표 컨퍼런스콜을 통해 “EUV(극자외선) 노광장비 도입은 2019년 1z 나노 양산 시점으로 예상한다”고 밝혔다.

이어 “1x 나노는 EUV 없이 연구개발을 진행하고 있다”며 “1y 나노는 백업공정 중 일부 레이어를 EUV로 대체할 준비 중”이라고 덧붙였다.