"소재처리가 반도체 미세공정의 열쇠"

인테그리스 "반도체 수율 향상, 소재부품에 달려"

미세공정이 대두되고 있는 향후 반도체 산업에서 소재와 솔루션 사업 분야의 중요성이 점점 부각되고 있다.

반도체 소재·솔루션 기업 인테그리스는 3일 서울 삼성동 그랜드 인터컨티넨탈 호텔에서 기자간담회를 열고 반도체 소재와 웨이퍼 처리 등에 관한 사업 계획 전반을 밝히고 소재 솔루션 분야의 중요성을 언급했다.

임창환 인테그리스 한국 지사장은 예전에는 관리되지 않았던 소재 부품이 4~5년 전부터 20나노 이하 미세 공정이 대두되면서 새로운 관리의 대상으로 적용되기 시작했다면서 이제는 반도체 수율을 높이는 데 있어 소재와 솔루션 사업 분야가 중요해졌다고 강조했다.

이어 기존 반도체 장비에서는 공정 개선을 말했지만 이제는 얼마나 정제된 화학소재를 가져오느냐가 고객사들의 관심이 됐다고 설명했다.

임 지사장은 인테그리스는 무결함 공정 소재와 소재 처리 부문 선두업체로 핵심소재들의 정제 여과 처리 솔루션을 모두 가지고 있다며 최근 엔드유저들이 20나노 이하 공정을 개발하는 데 수율 개선의 어떤 아이디어가 있는지를 우리에게 물어오고 있다고 소개했다.

임 지사장은 대표 사례로 웨이퍼 운송 용기 FOUP의 중요성 변화를 언급했다.

그는 기존에는 그냥 담기만 했는데 이제는 정전기나 파티클 발생을 없애는 기능이 필요해졌다면서 FOUP이 단순한 웨이퍼를 담는 박스에서 미세오염관리를 통한 수율 개선의 한 가지 방법이 된 것이라고 설명했다.

또 플랫패널, 데이터 저장장치, PV 태양광, 생명과학 등 반도체 기술을 바탕으로 한 고부가가치 응용분야에 대한 사업계획도 밝혔다.

임 지사장은 반도체로 시작한 기술을 기반으로 인접 첨단 산업으로 영향력 확대를 꾀하고 있다면서 인접 산업 분야의 순도 요구조건은 반도체 수준으로 점차 비슷해지고 있다고 설명했다.

한편 인테그리스는 반도체 공정 과정 상의 오염 제어, 핵심 소재 처리 및 공정 재료를 공급하는 기업으로 작년 4월 임플란트 가스류와 증착물질 전문업체 ATMI를 인수하면서 소재와 웨이퍼 솔루션 라인을 통합적으로 다루는 업체로 성장했다.