SEMI·KSIA, EDA 표준 한글본 발간

국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)는 공동 프로젝트로 SEMI EDA(Equipment Data Acquisition) 표준 4개의 한글본을 발간했다고 11일 밝혔다.

이번 프로젝트는 지난해 시작한 ‘글로벌 협력형 450mm 공정장비 개발 및 표준화 연구사업’의 일환으로 진행된 두 번째 국제표준 한글화 사업이다. 앞서 양 기관은 지난해 SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계에서 활용도가 높은 9개 표준에 대한 한글화 작업을 진행한 바 있다.

SEMI EDA는 지난 2005년 처음 만들어진 SEMI 소프트웨어표준으로 1982년 반도체장비를 제어할 목적으로 개발된 반도체 전용 데이터 송수신 프로토콜인 SECS/GEM 통신표준과는 달리, 반도체장비 데이터를 모니터링을 하기 위해 만들어졌으며, SECS/GEM보다 데이터 수집량이 많고 속도가 빠른 것이 특징이다.

최근 반도체 공정 미세화와 웨이퍼 대구경화가 진행되고 공정의 안정화를 위해 엔지니어들은 기존에 반도체설비에서 수집된 데이터 보다 더 많은 양의 데이터와 더 빠른 수집주기를 필요로 하게 되면서 EDA에 대한 관심이 높아지는 추세다.

김형수 SEMI 한국 정보제어 표준 기술위원회 위원장은 “EDA가 현재 SECS/GEM 만큼 보편적이지는 않지만 반도체 산업에서 대용량 데이터 활용에 대한 요구가 커지면서 EDA에 대한 잠재력도 대두되고 있다”고 설명했다.

이번 EDA 한글본 출간으로 새로운 개념의 표준인 EDA를 국내 도입하는 과정에서 국내 엔지니어들이 좀 더 쉽고 편리하게 접할 수 있을 것으로 SEMI는 기대하고 있다. 또 영문을 그대로 사용했을 때 발생할 수 있는 오적용 사례를 예방하고, 빠른 이해를 도와 업무 생산성 및 편의성도 크게 향상될 것으로 전망했다.