반도체장비 국제표준 한글본 발간, 의미는

국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)가 공동으로 ‘반도체 장비 간 통신구축을 위해 국제표준 한글본’을 발간했다. 영문으로 된 국제표준을 적용하는 과정에서 잘못된 해석과 이해 부족 등으로 인해 발생하던 문제를 해결하기 위한 작업이다.

지난 23일 SEMI와 KSIA는 공동으로 한국 정보 및 제어 기술위원회(Korea Information & Control Technical Committee)에 의뢰, SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계의 활용도가 높은 9개 표준을 선정해 이를 한글화하는 작업을 완료했다고 발표했다.

한국 정보 및 제어(I&C) 기술위원회는 삼성전자, SK하이닉스, 세메스, 주성엔지니어링, ASM, 도쿄일렉트론, 아이티이노베이션, 미라콤, 삼성SDS 등의 반도체 소자업체, 장비업체 및 소프트웨어 개발업체로 구성된 조직으로, 약 20여명의 위원이 SEMI 국제표준 제정활동에 참여하고 있다.

업계는 이를 반기는 분위기다. 아무래도 영문으로 된 국제표준을 그대로 사용하는 과정에서 이해와 활용에 애로사항이 있었기 때문이다. 때로는 용어 사용의 차이에 따른 오역으로 인해 통신구축 과정에서 오류가 발생하는 등 생산성과 편의성 측면에서 손실이 발생하기도 했다고 업계 관계자들은 말해왔다. 이런 문제들이 한글본의 보급으로 점차 해결될 것으로 업계는 기대하고 있다.

한글화가 완료된 9가지 표준은 ▲ SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메시지(SEMI E5-0712) ▲ 제조 장비 제어와 커뮤니케이션을 위한 일반 모델(SEMI E30-0611) ▲ HSMS의 일반적 서비스(SEMI E37-0413) ▲ 객체 서비스 표준: 콘셉트, 동작, 서비스(SEMI E39-0703) ▲ 프로세싱 관리 표준(SEMI E40-0312) ▲ 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양(SEMI E84-1109) ▲ 캐리어 관리 사양(SEMI E87-0312) ▲ 기판 추적 사양(SEMI E90-0312) ▲ 컨트롤 잡 관리 사양(SEMI E94-0312) 등이다.

특히 ‘SEMI 장비 커뮤니케이션 표준(SECSⅠ/Ⅱ)’은 반도체 장비와 외부 컴퓨터 간 인터페이스용 데이타 통신 표준으로 통신이 가능한 환경을 구축하는 툴이다. 제조 장비 제어와 커뮤니케이션을 위한 일반 모델(GEM)은 SECS 프로토콜을 기반으로 한 장비 통신 모델로 실제 생산 과정의 공장 프로그램 장비에 대한 모니터링, 제어요청 등을 비롯한 송수신 메시지나 장비 상태를 사전 정의한다는 것이 업계의 설명이다.

이 표준은 올해 초 우리나라가 주축이 된 위원회인 한국 정보 및 제어(I&C) 기술위원회가 제정, 국제 표준으로 채택된 것으로 국내 반도체 공정 기술이 국제 표준으로 제정된 첫 사례이기도 했다.

SEMI 국제표준은 지난 1973년 미국에서 시작되었으며 현재 4천400명의 회원이 한국을 비롯 유럽, 일본, 타이완, 중국 등에서 활동에 참여하고 있다. 실리콘 웨이퍼, 장비 자동화(하드웨어, 소프트웨어), 패키징, 설비 및 안전 등 23개 분야에 약 850여 개가 제정되어 있다.

이 중 우리나라는 설비(Facility)와 FPD, 또 앞서 언급한 정보 및 전자제어(I&C) 분야의 공식 기술위원회를 가지고 있으며 관련 표준을 개발 중에 있다.

SEMI와 KSIA 두 협회는 추후 국제표준 활용 확대를 위해 활용도가 높은 SEMI 국제표준 한글화 작업을 추가로 추진할 계획이다.