반도체 미세 발열 잡는 열영상 현미경 기술, 에이치비솔루션에 이전

한국기초과학지원연구원 "고집적 소자 수율 향상 기대"

한국기초과학지원연구원(KBSI)은 에이치비솔루션(대표 이재원)에 ‘열영상 현미경 기술’을 이전하는 협약을 체결했다고 24일 밝혔다.

이번 협약은 KBSI가 개발한 첨단 분석기술을 사업화하기 위해 이루어졌다. 대상은 산업 현장에서 활용 가능한 고정밀 불량분석 장비다.

기술 개발은  전략장비개발연구단(단장 장기수) 연구팀이 진행했다.

열영상 현미경 기술 이전 계약을 체결한 뒤 에이치비솔루션 이재원 대표와 KBSI 장기수 단장, 양성광 원장(왼쪽부터)이 기념촬영했다.(사진=KBSU)

이 기술은 ‘고분해능열영상 현미경 기술’로, 전자소자 미세 발열을 비접촉 방식으로 측정·영상화하는 첨단 분석 기술이다. 기존 적외선 현미경 기반 불량분석 장비는 전량 수입에 의존하고 있다. 수 마이크로미터 수준의 공간분해능 한계로 미세 결함의 정확한 위치 특정에 제약이 있는 반면, 이 기술은 이를 뛰어넘는 정밀도로 불량 위치를 특정할 수 있다.

전략장비개발연구단은 이 기술을 반도체 불량검사 관련 대기업과 협력 연구를 통해 실용화 가능성을 검증했다.

에이치비솔루션은 국내 MI(머신비전) 및 잉크젯, 도포기술 강소기업이다. 업력이 26년을 넘는다. 디스플레이에서 인정받은 기술력을 토대로 반도체 분야에서도 경쟁력을 확보했다.

에이치비솔루션은 “이번 기술이전을 통해 열영상 현미경 기술을 기반으로 반도체 분야뿐만 아니라 다양한 산업분야에 폭넓게 결함검사 및 불량분석 장비의 상용화를 추진할 계획”이라고 밝혔다.

장기수 단장은 "차세대 열영상 현미경 기술로  발열 기반 반도체 미세소자 결함을 정밀하게 검출 및 분석할 수 있어 수율 개선에 직접적으로 기여할 수 있다”며, “차세대 AI 반도체 등 고집적 소자 신뢰성 확보를 위한 핵심 분석 기술로 활용될 것"으로 기대했다.

양성광 원장은 “반도체 산업은 발열 제어와 수율 향상이 핵심 과제이며, 이번 기술은 이를 정밀하게 분석할 수 있는 세계 최고 수준의 성능을 갖춘 기술”이라며, “기술이전을 통한 사업화로 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대한다”고 밝혔다.