세메스는 반도체 검사장비 프로브 스테이션(설비명 SEMPRO) 5000호기 출하식을 열었다고 8일 밝혔다.
프로브 스테이션은 반도체 전기특성검사(EDS) 공정에서 테스터와 웨이퍼 위의 칩을 연결하는 자동화 설비다. 프로브 카드를 매개로 칩에 전기신호를 보내 양품과 불량 여부를 가린다.
세메스는 "프로브 스테이션은 업계 최고 수준 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어와 고하중 컨택 정밀도를 기반으로 EDS 공정 효율화에 기여하고 있다"며 "최근에는 무인자동화 기능을 적용해 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다"고 설명했다.
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세메스는 2003년부터 프로브 스테이션을 양산했다. 이후 2014년 1000호기, 2020년 2000호기를 출하했다. 이후 2년마다 1000대씩 출하했다. 첫 양산 후 22년 만에 5000호기를 출하했다.
최병갑 세메스 팀장은 "인공지능(AI)과 HBM 등 고성능 반도체 수요 증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정 난도가 높아지고 있다"며 "HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술우위를 확보했다"고 밝혔다.
