한미반도체, 한화세미텍 특허소송에 "적반하장…정당한 권리 보호할 것"

HBM용 TC본더 둘러싼 양사 특허 갈등 심화

최근 한화세미텍이 한미반도체를 상대로 HBM(고대역폭메모리)용 TC본더와 관련한 특허 소송을 제기한 가운데, 한미반도체가 이에 적극 대응을 시사했다.

28일 한미반도체는 한화세미텍이 제기한 특허침해 소송 건에 대한 입장문을 발표했다.

한미반도체 본사 1공장 전경(사진=한미반도체)

한미반도체는 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 '적반하장(賊反荷杖)' 소송"이라며 "당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치(厚顔無恥)한 행동"이라고 밝혔다.

회사는 이어 "한미반도체는 TC본더 시장 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 이래 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다"며 "당사는 법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 강조했다.

업계 및 법조계에 따르면 최근 한화세미텍은 특허 침해 혐의로 한미반도체에 소송을 제기했다. 소송 대리인으로는 김앤장 법률사무소를 선임한 것으로 알려졌다.([단독] 반격 나선 한화세미텍, 한미반도체에 HBM용 TC본더 특허침해 소송)

한화세미텍이 이번에 문제 삼은 특허는 TC본더 내부에 적용된 모듈 일부로 파악됐다. TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비로, HBM(고대역폭메모리) 제조에 필수적으로 활용된다.

한미반도체·한화세미텍 간의 특허를 둘러싼 갈등의 골은 갈수록 깊어지는 추세다. 앞서 한미반도체는 지난해 12월 "한화세미텍(구 한화정밀기계)가 자사 TC본더 관련 특허를 침해했다"며 서울중앙지법에 특허침해소송을 제기한 바 있다. 해당 특허는 TC본더의 모듈 및 본딩 헤드 구성 방식과 관련한 건이다.

이에 한화세미텍은 올해 5월 한미반도체를 상대로 해당 특허에 대한 무효심판을 특허심판원에 청구하는 등 맞불을 놨다.