신성이엔지, 'SEDEX 2024'서 클린룸 기술력 공개

신개발 EDM 공개…청정·제습 기능 통합

신성이엔지는 오는 27까지 서울 코엑스에서 열리는 반도체대전(SEDEX 2024)에 참가한다고 23일 밝혔다.

1977년 설립된 신성이엔지는 클린룸 핵심 장비인 'FFU(산업용 공기청정기)'를 국내 최초로 국산화하며, 반도체 산업 발전에 기여한 기업이다. 클린룸은 반도체·디스플레이·바이오 생산에 필수적인 고청정 공간을 뜻한다.

반도체대전(SEDEX 2024) 내 신성이엔지 부스

전시회서 소개되는 FFU는 클린룸 핵심 장비다. 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 첨단산업 제조 환경을 개선하고 수율 향상에 기여한다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 국내 점유율 60% 이상 차지하고 있다.

최근 개발한 반도체향 EDM(Equipment Dehumidify Module)도 공개한다. 이는 청정 기능과 제습 기능이 통합된 장비다. 고성능 로터를 이용해 5%RH(상대습도) 수준까지 조절 가능하며, 제습 기능이 작동하지 않아도 청정 기능은 유지된다. 초소형 사이즈로 제조 설비 내 설치가 용이한 것이 특징이다.

이외에도 ▲휘발성유기화합물(VOCs)을 95% 이상 제거하는 'V-master' ▲공기 중 이온성 가스 오염물질을 제거하는 'WSS' ▲눈에 보이지 않은 초미세먼지를 가시화하는 '미립자 가시화 시스템' ▲외부에서 유입되는 오염된 공기를 청정하게 공급해주는 '외조기(OAC)' ▲2차전지 드라이룸 등을 출품했다.

신성이엔지 관계자는 "1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기, 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다"며 "기술 고도화를 통해 반도체 뿐 아니라 이차전지 드라이룸, 데이터센터 공조 솔루션 영역으로 사업을 확장하고 있으며, 이번 전시회서 관련 기술을 선보일 것"이라고 말했다.