미국 반도체 장비업체 어플라이드머티어리얼즈가 신규 웨이퍼 생산 플랫폼인 '비스타라(Vistara)'를 공개했다. 해당 플랫폼은 증착·식각 등 주요 반도체 공정을 단일 플랫폼 내에서 효율적으로 처리할 수 있는 것이 특징으로, 현재 주요 메모리 고객사들과의 평가를 거치고 있다.
지난 30일 어플라이드머티어리얼즈코리아(이하 어플라이드; AMAT)는 경기 성남 소재의 본사에서 미디어 라운드테이블을 열고 비스타라 플랫폼에 대해 소개했다.
비스타라는 특정 공정을 수행하는 개별 장비들을 하나의 시스템으로 결합한 플랫폼이다. 어플라이드가 이 같은 플랫폼을 개발한 이유는 반도체 공정의 효율성 및 수율 향상에 있다.
기존 반도체 공정은 웨이퍼를 반도체 장비 내 챔버에 집어넣어 공정을 수행하고, 이를 다시 꺼내 다음 장비에 집어넣는 식으로 진행돼왔다. 이 과정에서 웨이퍼는 대기 환경 및 장비 내 챔버의 진공 환경에 반복적으로 노출된다.
반면 어플라이드의 비스타라 플랫폼은 여러 개의 챔버를 이어붙여, 진공 환경 내에서 연속적인 공정을 수행한다. 이를 통해 웨이퍼 내 결함이 발생할 확률을 낮추고, 웨이퍼가 이송되는 시간을 줄일 수 있다. 장비 크기를 줄일 수 있으므로 제조공장 내 에너지 및 생산 효율성을 높이는 데에도 용이하다.
장대현 어플라이드 메모리 식각 기술 총괄은 "현재 비스타라 플랫폼은 주요 메모리 고객사들과 평가를 긍정적으로 진행 중이고, 파운드리 분야로도 공급을 준비 중"이라며 "실제 고객사 공정에 양산 적용되는 시기는 구체화되지는 않지만 가까운 미래가 될 것"이라고 밝혔다.
어플라이드가 강조한 비스타라 플랫폼의 주요 특징은 유연성, 인텔리전스, 지속가능성 세 가지다.
유연성 부문에서는 4개 또는 6개의 웨이퍼 배치 로드 포트, 최소 4개에서 최대 12개 챔버를 붙일 수 있도록 했다. 또한 다양한 챔버 유형, 크기, 구성이 서로 호환될 수 있도록 했다. 향후에는 타 업체의 설비까지 결합할 수있도록 할 계획이다.
인텔리전스는 플랫폼 내 수천 개의 센서 및 어플라이드 AIx 소프트웨어를 통해 구현해냈다. 각 센서가 공정 진행에 따른 데이터를 실시간으로 수집하고, 이를 인공지능·머신러닝 기반의 분석으로 공정 생산성 및 수율 향상을 가능케 한다.
또한 비스타라 플랫폼은 지속가능성을 위해 어플라이드가 설정한 '3x30 이니셔티브' 달성을 돕는다. 3x30 이니셔티브는 2030년까지 어플라이드 제품의 등가 에너지 사용량, 화학물질 사용의 영향도, 필수 클린룸 면적을 각각 30%씩 감축하는 것을 목표로 한다.
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실제로 비스타라 플랫폼은 어플라이드의 이전 플랫폼(센트리스) 대비 에너지 소비량을 최대 35%까지 줄일 수 있는 것으로 분석됐다.
이길용 어플라이드 기술 마케팅 및 전략 프로그램 총괄은 "어플라이드는 이전 플랫폼을 통해 파운드리 공정에서 7개의 서로 다른 공정을 하나의 시스템에 묶은 바 있다"며 "비스타라 플랫폼은 그 한계를 훨씬 넘어서는 기술"이라고 강조했다.
