SK엔펄스, 3분기 'CMP 슬러리' 상용화 돌입

CMP 슬러리 양산 및 CMP 패드·블랭크마스크 고객사 확대 추진

반도체ㆍ디스플레이입력 :2023/08/09 14:04

SKC의 자회사 SKC엔펄스가 올 3분기부터 반도체 사업 내 주요 신제품인 CMP 슬러리의 상용화에 들어간다.

9일 SKC는 2023년 2분기 경영실적 발표회를 열고 회사의 반도체 소재 사업 현황 및 향후 계획에 대해 밝혔다.

SKC의 2분기 반도체 사업 실적(사진=SKC)

SK엔펄스는 SKC의 반도체 소재 부문 자회사로, 다양한 반도체 부품 및 후공정·이송장비 사업을 진행 중이다. 특히 CMP 패드와 CMP 슬러리, 블랭크마스크 등을 주력 사업으로 추진하고 있다.

이 중 CMP 슬러리는 반도체 웨이퍼 표면을 물리, 화학 반응으로 연마해 평탄하게 만드는 CMP 공정에 필요한 용액이다. SK엔펄스는 CMP 슬러리를 올 3분기부터 상용화할 계획이다.

김종우 SK엔펄스 대표는 "그간 R&D를 중심으로 진행해 온 CMP 슬러리가 이번에 의미있는 양산 인증에 성공했다"며 "내년에는 CMP 슬러리 종류 및 고객사 확대로 연 매출 100억원을 충분히 넘을 수 있을 것"이라고 밝혔다.

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기존 상용화에 성공한 CMP 패드, 블랭크 마스크 등도 고객사 확보에 나선다. 블랭크 마스크는 웨이퍼에 반도체 회로를 새기기 위한 포토마스크의 원판이 되는 소재다.

김종우 대표는 "2분기 CMP 패드 고객사를 한 곳 추가 확보했고, 연말까지 4~5곳 정도 확보할 수 있을 것으로 기대 중"이라며 "블랭크마스크는 고객사 인증 시간이 오래 걸림에도 금년 중으로 적어도 2곳, 내년까지는 5곳의 고객사를 확보할 수 있을 것으로 전망된다"고 설명했다.