ASML, 용인에 EUV 반도체 장비 교육장 열어

클린룸 포함 440평…고객 지원 및 산학 협력

네덜란드 반도체 장비 기업 ASML은 지난 16일 경기 용인시 서플러스글로벌 반도체 장비 단지에 극자외선(EUV) 교육장을 열었다고 18일 밝혔다.

ASML은 반도체 업계에서 을의 입장이지만 갑보다 힘이 세다는 뜻에서 ‘슈퍼 을’로 불린다. 7나노미터(㎚=10억분의 1ｍ) 이하 반도체 미세 공정에 필요한 EUV 노광 장비를 1년에 45대 안팎 세계에서 유일하게 생산한다.

ASML 한국지사 관계자들이 16일 경기 용인시 서플러스글로벌 반도체 장비 단지에 극자외선(EUV) 교육장을 열고 기념 사진을 찍고 있다.(사진=ASML)

ASML은 1천445㎡(약 440평)에 클린룸·교실·사무실·편의시설을 갖췄다. EUV 장비를 설치·보수하는 고객 지원(CS) 기술자를 여기서 가르친다. 국내 대학과 반도체 산·학 협력 프로그램도 추진한다.

이우경 ASML 한국지사장은 “ASML은 단순히 장비를 제공하는 데 그치지 않고 고객 성공과 현지 반도체 생태계 발전을 위해 노력한다”고 말했다.