SK하이닉스, AI로 웨이퍼 제조 공정 결과 예측

박막 증착 공정에 가우스랩스 '판옵테스VM' 적용…"수율 향상"

SK하이닉스는 10일 인공지능(AI)으로 반도체 실리콘 원판(Wafer·웨이퍼) 제조 공정 결과를 예측한다고 밝혔다.

SK하이닉스가 투자한 산업 AI 스타트업 가우스랩스가 가상 계측 AI 소프트웨어 ‘판옵테스VM(Virtual Metrology)’을 최근 출시했다. 판옵테스VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터로 예측하는 소프트웨어다. 그리스 신화에 나오는 눈이 100개 달려 모든 것을 보는 거인 ‘판옵테스’에서 이름을 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 점검한다는 뜻이다.

임동균 가우스랩스 매니저가 산업 인공지능(AI) 도입 효과를 설명하고 있다.(사진=SK하이닉스)

SK하이닉스는 지난달부터 판옵테스VM을 양산 공장(Fab) 박막 증착 공정에 도입했다.

박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 얇은 막을 씌우는 과정이다. 박막 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결된다고 SK하이닉스는 소개했다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 데 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하기 어려웠다고 설명했다.

SK하이닉스는 판옵테스VM으로 분석한 결과를 APC(Advanced Process Control)와 연동해 공정 산포를 평균 21.5% 개선하고 수율까지 높아졌다고 강조했다. 산포는 해당 공정에서 생산된 제품 품질이 얼마나 변하는지 나타낸다. 산포가 줄어들수록 불량 가능성이 감소하기에 산포가 적정 수준을 넘어서지 않도록 관리해야 한다.

SK하이닉스는 다른 공정에도 가우스랩스의 판옵테스VM을 적용하기로 했다.