산업통상자원부는 14일 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML이 경기 화성시에 반도체 시설을 다음 달 착공한다고 밝혔다.
산업부는 코트라(KOTRA)와 11일(현지시간)부터 13일까지 사흘 동안 네덜란드와 독일에서 반도체 장비 투자 유치 활동을 펼쳤다.
산업부는 ASML이 다음 달 화성시에서 반도체 시설 공사를 시작한다고 전했다.
지난해 11월 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 화성시 ASML 한국지사를 찾아 “2025년까지 동탄에 2천400억원을 투자하겠다”고 발표했다. 동탄2신도시 도시지원시설 용지 1만6천㎡에 1천500명 수용할 수 있는 반도체 시설을 짓기로 했다. 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 트레이닝 센터, 재제조 시설 등을 세울 예정이다. ASML은 최첨단 EUV 노광 공정 반도체 장비를 세계에서 유일하게 공급한다.
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산업부는 이번에 네덜란드 ASM으로부터 1천만 달러 규모 투자도 유치했다. ASM 또한 한국에 반도체 장비 생산 공장이나 연구개발(R&D) 시설을 설립하기로 했다고 산업부는 소개했다. ASM은 반도체 실리콘 원판(웨이퍼)에 원자 단위 깊이 산화막을 증착하는 장비(ALD)를 만들어 삼성전자와 SK하이닉스 등에 납품한다.
산업부는 독일 칼 자이스와도 1천만 달러 규모 투자를 협의하고 있다고 설명했다. 칼 자이스는 반도체 노광 장비 세계 1위 ASML에 EUV 노광 장비용 반사 거울을 독점 공급한다.
