나노종기원, 삼성 보유한 12인치 반도체장비 도입…소부장 자립 지원

지난해 3대 이어 올해 3대 추가 이전 설치

나노종합기술원이 삼성에서 보유한 12인치(300mm) 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다. 반도체 테스트베드 기반의 소부장 서비스 영역을 확대하고 시스템반도체 지원역량을 강화하기 위함이다.

나노종기원은 지난해 3월부터 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축해 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

나노종합기술원 연구원들이 삼성에게 양도받은 반도체 장비를 운영하고 있다.(사진=나노종기원)

앞서 나노종기원은 테스트베드 구축 과정에서 핵심장비인 ArF Immersion Scanner (12인치 노광장비)가 부재한 장비시장 상황에서 삼성의 적극적인 보유장비 매각 이전 지원으로 테스트베드를 조기 구축할 수 있었다.

이후 추가적으로 삼성에서 보유한 가용장비를 공공나노팹 시설에 저가 이전할 수 있도록 협의해 지난해 3대에 이어 올해 3대 등 테스트베드 및 중소기업에서 필요한 장비를 이전했다.

올해 삼성에서 이전하는 장비는 12인치 금속박막 증착 스퍼터링, 실리콘 산화막 및 질화막 식각장비, 폴리실리콘 식각장비 등 3대로 다중쳄버로 구성돼 있다. 다양한 소재, 부품, 장비 개발, 실증테스트, 기존 8인치 공정장비와 연계한 12인치 수준의 차세대 시스템반도체 개발에 활용할 계획이다.

나노종기원은 삼성의 보유설비 이전을 계기로 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화를 통해 차세대 선행기술개발, 시제품제작 및 성능평가 등 신뢰성 있는 실증데이터를 제공할 예정이다.

이조원 나노종기원 원장은 "소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비 및 공정기술 플랫폼 고도화와 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용될 수 있도록 대기업 등 관련기업과의 연계 협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력해 나갈 예정이다"고 밝혔다.