'반도체장비 3대장' 램리서치, 용인에 연구소 열었다

한국에서의 생산량 2배 증가…판교 본사도 옮긴다

미국 램리서치가 26일 경기 용인시 지곡산업단지에 연구개발(R&D) 시설 ‘램리서치 코리아테크놀로지센터(Korea Technology Center)’를 열었다.

램리서치는 네덜란드 ASML과 미국 어플라이드머티어리얼즈에 이어 시장점유율 기준 세계 3위 반도체 장비 회사다.

경기 용인시 지곡산업단지에 있는 램리서치 연구개발(R&D) 시설 '코리아테크놀로지센터'(사진=램리서치)

램리서치는 1989년 한국법인을 세웠다. 2003년부터 주요 부품을 국내 회사에서 조달하고 있다. 2011년에는 생산법인 램리서치매뉴팩춰링코리아를 설립했다. 이번에 문을 연 용인 연구소는 2020년 7월 짓기 시작해 지난 2월 완공했다. 경기 성남시 판교신도시에 있는 램리서치 한국법인 본사도 면적 3만m² 용인 코리아테크놀로지센터로 옮기기로 했다.

램리서치 코리아테크놀로지센터는 미국·유럽 연구소와 함께 R&D 거점으로 활용된다. 반도체 소자를 생산하는 장비와 공정을 혁신하고자 첨단 클린룸을 꾸렸다. 이공계 박사 100여명이 이곳에서 일한다.

팀 아처 램리서치 회장이 26일 경기 용인시 지곡산업단지에 있는 연구개발(R&D) 시설 '코리아테크놀로지센터' 개관식에서 환영사를 하고 있다.(사진=램리서치)

팀 아처 램리서치 회장은 “램리서치는 반도체와 그 제조 장비 수요를 충족시키려고 최선을 다해 투자하고 있다”며 “코리아테크놀로지센터가 자랑스럽다”고 말했다. 그러면서 “램리서치 코리아테크놀로지센터는 현지 생산 역량을 끌어올릴 것”이라며 “지난 2년 동안 램리서치는 한국에서의 생산량을 2배 늘렸다”고 설명했다.

이상원 램리서치 한국법인 총괄 대표이사는 “램리서치는 30년 넘게 한국 반도체 회사와 적극적으로 협력했다”며 “앞으로도 한국 반도체 산업 생태계를 강화하는 데 힘쓸 것”이라고 강조했다.

경기 용인시 지곡산업단지에 있는 램리서치 연구개발(R&D) 시설 '코리아테크놀로지센터'에서 연구원이 작업하고 있다.(사진=램리서치)

박진규 산업통상자원부 차관은 “반도체 장비 분야가 갈수록 중요해진다”며 “한국은 중국 다음으로 세계에서 반도체 장비를 많이 사는 나라”라고 자평했다. 국제반도체장비재료협회에 따르면 세계 반도체 장비 매출액은 2020년 712억 달러(약 89조원)에서 지난해 1천26억 달러로 44% 늘었다. 중국이 296억 달러, 한국이 250억 달러어치를 구매했다.