반도체 장비 업체 ASML, 공장 화재 복구 시작

노광 공정 웨이퍼 고정 부품 생산 차질

극자외선(EUV) 노광 장비를 독점하는 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML이 불 난 공장을 복구하기 시작했다.

미국 정보기술(IT) 매체 지디넷은 11일(현지시간) ASML이 공장 화재 이후 복구에 착수했다고 보도했다. ASML이 며칠 동안 제조에 차질을 빚었지만 이내 생산을 재개했다고 지디넷은 전했다.

지난 3일 독일 베를린에 있는 ASML 공장에서 불이 나 밤에 꺼졌다. 부상자는 보고되지 않았다.

네덜란드에 있는 ASML 본사(사진=ASML)

ASML은 이곳에서 EUV 장비 모듈 중 하나인 웨이퍼 클램프를 만든다. 노광 공정에서 웨이퍼(wafer·실리콘 기판)를 고정하는 핵심 부품이다. ASML은 EUV 시스템 모듈인 웨이퍼 클램프를 만드는 설비 일부가 화재 영향을 받았다고 9일 발표했다. EUV 생산 물량과 서비스 영향을 최소한으로 줄이겠다고 밝혔다. 인명 피해는 없다고 강조했다.

ASML의 EUV 노광 장비는 1대에 2천억원이 넘는다. ASML은 이를 1년에 45대 안팎으로 한정 생산하는 것으로 알려졌다. 삼성전자와 SK하이닉스, 미국 인텔, 대만 TSMC 등 반도체 생산 회사들이 장비를 확보하려고 경쟁한다. 반도체 업계에서 ASML이 을이지만 갑보다 힘이 세다는 뜻에서 ‘슈퍼 을’이라 불린다.

ASML 극자외선(EUV) 노광 장비 내부(사진=ASML)

지디넷은 새해에도 반도체 칩이 부족할 것이라며 연초부터 ASML 공장에 불 난 것은 좋은 출발이 아니라고 지적했다.