KETI, 씨엔원과 차세대 전자소자 핵심공정 기술개발 협력

차세대 반도체·디스플레이 소부장 기술 자립화 견인 기대

한국전자기술연구원(KETI·원장 김영삼)은 씨엔원(대표 정재학)과 ‘ALD 기반 차세대 전자소자 핵심 공정 기술개발을 위한 업무협약’을 체결했다고 4일 밝혔다.

ALD(Atomic Layer Deposition·원자층 증착법)는 원자 하나만큼의 두께를 가진 얇은 층을 증착하는 공정으로 기판 모양이나 크기에 상관없이 모든 면에 균일한 박막 형성이 가능해 차세대 반도체·디스플레이 핵심기술로 꼽힌다.

김영삼 KETI 원장(왼쪽)과 정채학 씨엔원 대표가 4일 씨엔원 본사에서 업무협약을 체결한 후 기념촬영을 하고 있다.

KETI와 씨엔원은 협약에 따라 ALD 기반 차세대 전자소자 핵심 공정기술 분야 공동 사업 발굴·기획 ▲ALD 산·연 공동 연구실 개소 ▲ALD 관련 신기술(설계, 분석, 진단, 시뮬레이션 등) 공동 연구 및 인력 교류 등에 협력하기로 했다.

KETI는 ‘소부장 융합혁신지원단’의 대표(주관) 연구기관으로 자동차 전장용 초소형 고용량 적층세라믹콘덴서(MLCC), 양자점 디스플레이 소재 및 패널, 실리콘 기반 광 융합 반도체 기술개발을 추진하는 등 해외 의존도가 높은 소재‧부품‧장비 핵심기술을 국산화하고 있다.

씨엔원은 ALD 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비업체로 2008년 설립 이후 2018년 수출유망중소기업으로 지정됐다. 지난해 백만불 수출의 탑을 수상했다.

씨엔원은 미국·일본·중국·싱가포르·대만 등 해외시장에 진출해 반도체 관련 세계 유수 기업에 R&D용 ALD 설비를 공급하며 글로벌 시장에서 입지를 넓혀가고 있다.

김영삼 KETI 원장은 “KETI가 보유한 ALD 관련 핵심기술과 씨엔원의 ALD 장비 양산화 경험이 더해진다면 차세대 반도체·디스플레이 소재·부품뿐 아니라 다양한 고부가가치 소재와 응용 분야에서도 세계가 주목할 만한 산연 협력 성공사례를 창출할 수 있을 것”이라고 기대감을 밝혔다.