KLA텐코, 레티클 검사 장비 '테론SL650' 출시

공정 관리 및 수율 관리 솔루션 공급업체 KLA텐코(KLA-Tencor)는 20nm 이하 공정에 적용되는 반도체 레티클 품질 제어 솔루션 ‘테론(Teron) SL650’을 출시했다고 22일 밝혔다.

테론 SL650은 입고되는 레티클의 품질을 평가하는 동시에 레티클 변형을 모니터링하고 패턴이 형성된 부분과 개방부의 헤이즈(haze) 증가나 오염 등 불량을 감지한다.

레티클(reticle)은 반도체 제조 공정에서 회로패턴을 형성하기 위해 쓰는 원판을 말한다. 레티클에 헤이즈가 증가하면 공정 수율에 영향을 미칠 수 있다.

KLA텐코는 이 제품의 생산 처리량을 업계 최고 수준으로 높여 어드밴스트 멀티패터닝(advanced multi-patterning) 기법과 관련해 많은 수의 레티클을 검증하는데 필요한 빠른 사이클 타임을 지원한도록 했다.또 싱글 다이 레티클과 멀티 다이 레티클을 지원하는 STARlightSD 및 STARlightMD가 사용돼 공장 내에서 다양한 레티클 유형을 혼용할 수 있기 때문에 불량 포착 성능이 우수하고 포괄적인 검사가 가능하다고 회사는 설명했다.

이와 함께 STARlightMaps 기술을 사용하면 시간 경과에 따른 레티클 변형을 추적하고 CD, 박막 두께, 반사 방지 코팅 및 기타 레티클 전반에 걸친 변화를 식별할 수 있다. 이 제품은 극자외선(EUV) 레티클 검사요건 표준에도 부합한다.

야린 슝 KLA텐코 레티클 제품 사업부(RAPID) 부사장은 레티클 품질에 변화가 있을 경우 인쇄하는 모든 웨이퍼에 심각한 영향을 미칠 수 있기 때문에 레티클의 상태를 파악하는 것은 패터닝 공정 제어에 핵심적이라면서 테론SL650은 입고되는 레티클에서 중대한 불량을 모니터링하고 생산 중 발생하는 점진적인 불량과 마스크 패턴의 변화를 식별해 제조사들이 디바이스 수율, 성능, 사이클 타임을 확보하는 데 도움을 줄 수 있다고 말했다.