디스플레이 노광장비 핵심 기술 개발 성공

연간 약 6천억원 규모 수입 대체효과 기대

정부와 국내 대·중소기업 및 학계가 공동으로 디스플레이 생산공정의 핵심장비인 8세대급 디지털 노광기 개발에 성공했다. 그동안 국내 원천기술이 전무해 전량 수입에 의존하던 대형 노광장비 개발에 성공한 만큼 향후 본격적인 국산화에 나서기로 했다.

산업통상자원부는 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업을 통해 지난 2008년부터 5년 간 총 사업비 410억원이 투입된 디지털 노광장비 핵심기술 개발을 완료했다고 16일 발표했다. 이번 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했다.

노광기는 포토마스크에 빛을 쪼여 유리기판에 회로를 형성하는 장비다. 이를 활용하는 노광공정은 평판디스플레이(FPD) 제조공정 중 비용과 시간 측면에서 30~40% 이상을 차지하는 최고 핵심 공정으로 꼽힌다. 하지만 기술 수준이 높고 외국 장비기업의 엄격한 통제로 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못했다.

국내 업계는 그간 니콘이나 캐논 등 일본 기업으로부터 장비를 전량 수입해왔다. 8세대급 노광장비 가격은 200~300억원 수준으로 연간 국내 디스플레이 노광장비 수입 규모는 연평균 5억8천만달러(약 6천억원)에 이른다.산업부는 이번 기술개발로 세계 최고수준인 국내 디스플레이 산업기술과 노하우가 외국 장비기업을 통해 경쟁국에 유출되는 위험을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 향후 국산 노광장비의 수출효과도 기대할 수 있을 것으로 내다봤다.

특히 이번에 개발된 기술은 기존 아날로그 방식이 아닌 디지털방식으로 개발된 세계 최초의 대형 노광기술로 기술 자립화 및 원가 절감에 따른 가격 경쟁력 향상효과도 기대된다.

아날로그 노광기의 핵심부품인 마스크를 디지털화시킨 것이 이번 기술의 핵심으로 기존 기술 대비 공정기간 단축 및 원가절감의 효과가 매우 클 것이라는 분석이다. 또 이 기술은 마스크가 필요없어(Maskless) 패턴 설계 후 즉시 테스트 및 생산이 가능해 비용절감과 개발시간 단축 등 장점이 있다.

산업부는 “경쟁사인 삼성과 LG가 협력관계로 참여해 차세대 디스플레이 기술에 대한 공동 대응체계를 확보했다는 점과 중소기업에 대한 세계 최초 기술의 이전이 성공적으로 이뤄졌다는 점이 주목할 만한 성과”라면서 “향후 디지털 노광 기술의 자립과 기술력 유지를 위해 관련 부품의 자급체계 및 상용화를 위한 인프라 구축 등을 지속 지원할 것”이라고 밝혔다.