어플라이드, 반도체 식각장비 '센트리스' 출시

어플라이드머티어리얼즈는 반도체 식각장비 '어플라이드 센트리스 어드밴티지 메사 에치'를 출시한다고 30일 발표했다.

이 장비는 한 시간당 180개 이상의 웨이퍼를 처리하고, 30%의 생산비용을 절감할 수 있다고 어플라이드머티어리얼즈 측은 밝혔다.

반도체 식각장비란 실리콘 웨이퍼에 전류가 흐를 수 있도록 패턴을 새겨 미세회로를 형성하는 식각공정에서 사용되는 장비를 뜻한다. 처리속도가 빠르고 각 웨이퍼의 회로를 균일하게 공정 할수록 경쟁력을 갖는다.

이번에 발표한 '센트리스'는 최대 4개의 챔버를 설치할 수 있었던 기존 플랫폼에 비해 2배가 많은 8개의 챔버로 장비를 설계할 수 있어 공정속도를 두 배 가까이 상승시켰다. 보다 효과적인 공간의 활용과 에너지 절감을 통해 운영비를 약 30%가량 절약할 수 있다.

'센트리스'는 향상된 시스템의 정밀성과 생산성으로 22nm 이하로 공정되는 최상급의 로직 칩과 메모리 칩을 제조할 수 있다. 각 웨이퍼마다 옹스트롬(1미터의 100억분의 1) 수준의 높은 균일도로 칩을 생산할 수 있다.

어플라이드머티어리얼즈는 관통전극(TSV) 공정 방식의 최신 에칭기술이 탑재된 '어플라이드 센츄라 실비아 에치' 시스템도 공개한다.

이 시스템은 향상된 초고밀도 플라즈마를 활용해 식각공정률을 40% 상승시키고, 실리콘 식각장비 중 최초로 웨이퍼당 공정에 사용되는 비용을 미화 10달러 이내로 감축한 것이라고 어플라이드머티어리얼즈 측은 밝혔다.