주성엔지니어링이 국내 최초로 개발한 유기금속화학증착장비(MOCVD) 장비가 에피밸리에 공급돼 테스트가 시작됐다.
15일 에피밸리는 주성으로부터 장비를 공급받아 양산라인 투입에 대비 테스트를 시작했다고 발표했다. MOCVD는 지식경제부 신성장동력 스마트프로젝트 일환으로 주성엔지니어링이 자체 개발한 LED 장비다. 국산 장비로 LED 칩 제조사에 공급된 첫 사례다.
이 장비는 LED 공정에 들어가는 전체 장비 투자비의 절반 가량을 차지하는 핵심장비로 국산화에 대한 요구가 큰 분야였다.
현재 MOCVD는 독일 액시트론과 미국 비코가 전세계 시장을 과점하고 있는 상황으로 최근 국내외 LED TV 시장의 급성장으로 인해 삼성LED, LG이노텍 등 국내 기업들이 MOCVD 장비대수 확대에 적극 나서고 있다.
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이 장비는 에피밸리 수원 R&D 라인이 아닌 구미 본사의 LED 양산라인에 바로 투입돼 가동된다. 빠른 시간 내 테스트 과정을 마무리한 후 본격적인 상용화에 들어갈 예정이다.
에피밸리 관계자는 “이번 도입된 MOCVD는 기존 장비에 비해 한대당 웨이퍼 처리능력이 3배 정도 높아 회사의 생산캐파 확대에도 큰 도움이 될 것”으로 전망했다.
