미 세마테크컨소시엄이 450mm웨이퍼 프로토타입을 내놓았다.
EE타임스에 따르면 최근 세마테크컨소시엄이 450mm ‘테스트웨이퍼세대‘의 단계에 이르렀으며 회원사들에게 프로토타입을 내놓고 있다.
세마테크컨소시엄은 미 정부와 민관컨소시엄으로 만든 반도체제조기술연구조합으로서 7개국 13개 회사가 투자했다. 회원사는 IBM,AT&T,인텔,모토롤라,하이닉스, HP,TI 등이다.
보도에 따르면 컨소시엄은 최근 R&R파운드리인 SVTC테크놀로지 소유의R&D팹에 테스트베드를 만들었다. 테스트베드는 다양한 프로토타입 팹자동화 툴과 핸들러로 구성돼 있다.
세마테크는 450mm테스트 웨이퍼를 회원사에게 제공하고 있으며 이는 에처와 다른 툴로 가공된다. 세마테크 측은 “우리가 웨이퍼세대의0 단계에 있다면 진전된 것이지만 의문부호가 남는다”고 말했다.
이번 기술개발단계에도 불구하고 100억달러로 예상되는 450mm팹 공정개발비용을 누가 낼 것인지가 여전히 문제라고 보도는 지적했다.,
한편 많은 팹툴제조업체들은 그동안 비용문제로 450mm웨이퍼 및 팹 개발에 반대해 왔다.
세마테크 스콧 크래머 제조담당 부사장은 자세한 언급을 피한 채 “이제 컨소시엄은 클린룸을 SVTC설비에 가져오는 것을 예상하고 있다”고 말했다. 크래머는 “뉴욕 알바니 소재 세마테크사도 이 기술개발을 위한 클린룸제조공정에 들어갔다”고 밝혔다.
세마테크는 미국정부와 민관공동 컨소시엄으로 만든 반도체 제조기술연구조합으로서 1987년 미국반도체협회(SIA; Semiconductor Industry Association)중심으로 발족했다.
