워트 "내년 7월 삼성전자 P5에 THC 반입"

반도체 공정용 초정밀 온습도 제어장비(THC)가 주력인 워트가 2027년 7월 삼성전자 평택캠퍼스 5공장(P5)에 THC를 반입할 예정이라고 밝혔다.

삼성전자의 P5 목표 가동 시점은 2028년이다. 평택캠퍼스 내 다른 공장(2개층·4개 클린룸)보다 규모가 큰 P5(3개층·6개 클린룸)에선 주로 고대역폭메모리(HBM)를 주로 만들 예정이다.

THC는 반도체 환경 제어 시스템이다. 주로 전공정인 노광 공정과 후공정인 HBM 공정용 트랙 장비에 장착해 사용한다. THC는 감광액 코팅과 현상 공정 챔버에 정제된 공기를 공급하고, 이를 통해 파티클과 온습도, 미량 가스를 정밀하게 제어한다.

5일 업계에 따르면 워트는 최근 공개한 1분기 보고서에서 "삼성전자의 경우 극자외선(EUV) 공정용 THC 평가를 위해 2025년 말 팹에 장비를 반입했다"며 "2026년 1분기 기준 설치(셋업)가 완료돼 웨이퍼 투입 평가 중"이라고 밝혔다. 이어 "2026년 2분기 평가 완료가 목표"라고 덧붙였다.

이어 "고객사(삼성전자) 설비투자 확대로 P4용 장비를 수주해 납품 중"이라며 "(중략) P5는 2027년 7월 장비(THC) 반입이 예정돼 있고, 중장기로 추가 수주 기회 확대를 예상한다"고 밝혔다.

워트는 지난 3월 공개한 2025년 사업보고서에서도 THC 평가 등과 관련한 일정을 소개했지만, 1분기 보고서에서 일정이 보다 구체화됐다.

워트는 또 다른 주요 고객사 SK하이닉스에 대해선 "2024년 주요 고객사(SK하이닉스)의 HBM 공정용 트랙 설비에 THC를 공급해 성능 검증을 마쳤고, 이후 관련 공정에 제품을 지속 공급하고 있다"고 밝혔다. 이어 "EUV 공정에 대해서도 2025년 말 평가했고, 2026년 1분기 평가 인증을 마쳐 EUV 공정용 THC를 수주해 관련 프로젝트를 수행 중"이라고 덧붙였다.

또, 워트는 "차세대 반도체 공정으로 주목받는 웨이퍼투웨이퍼(W2W) 적층 기술 확산으로 하이브리드 본더 수요가 늘고 있다"며 "이 장비에도 워트 THC 적용이 예정돼있다"고 밝혔다.

다만, 대만 반도체 업체에 대한 장비 납품은 밀리고 있다. 워트는 3월 공개한 2025년 사업보고서에선 "2025년 말부터 대만 사이트에서 에이전트를 통해 유명 칩 제조사 후공정 라인에서 평가 중이고, (중략) 2026년 상반기 양산 수주를 목표로 영업 활동 중"이라고 밝혔는데, 4월 공개한 1분기 보고서에선 "2026년 하반기 양산 수주 확보가 목표"라고 밝혔다.