신성이엔지, 클린룸 사업 확장..."EDM, 韓메모리 고객사 평가 완료"

EDM·ICF 등 반도체 클린룸 사업 확장 토대 마련

신성이엔지가 반도체 클린룸 사업 영역을 확장한다. 초소형 습도 제어 모듈·내장형 케미컬필터 등을 개발해 올해 국내 주요 반도체 고객사향 퀄(품질) 테스트를 마무리한 것으로 알려졌다. 국내외 반도체 인프라 투자가 활발히 진행되고 있는 만큼 매출 확대 효과가 기대된다.

이영일 신성이엔지 클린환경 사업부문 부사장은 지난 23일 서울 코엑스에서 열린 'SEDEX 2025(반도체대전)' 행사장에서 기자와 만나 회사의 향후 사업 전략에 대해 밝혔다.

이영일 신성이엔지 클린환경 사업부문 부사장이 EDM에 대해 설명하고 있다(사진=장경윤 기자)

신성이엔지는 반도체·디스플레이 제조 공정의 오염도 및 온도 등을 제어하는 클린룸을 주력 사업으로 영위하고 있다. 공기를 정화하는 FFU(팬필터유닛)와 장비에 부착하는 EFU(장비 팬필터유닛) 등이 대표적인 제품이다.

나아가 신성이엔지는 EDM(장비제습모듈)으로 클린룸 사업 확장에 나선다. EDM은 반도체 공정 상에서 EFEM(웨이퍼 이송 장비) 내부 및 상부에 부착돼, 웨이퍼 표면의 습도를 제어한다. 기존에는 공정 장비의 습도 제어를 위해 배관 등 여러 부품이 필요했으나, EDM은 소형 내장형 모듈로 사용성이 매우 편리하다는 장점이 있다.

신성이엔지는 3년 전부터 EDM 개발을 시작해, 올해 상반기 국내 주요 메모리 고객사향으로 양산 퀄 인증을 받았다. 국내외 복수의 주요 전공정 장비업체와도 공급 논의를 적극 진행 중이다.

이 부사장은 "반도체 공정의 미세화로 습도 제어에 대한 필요성이 높아지면서, 2년 전부터 관련 기술에 대한 고객사들의 문의가 많아졌다"며 "1세대 EDM은 이미 일부 제품이 고객사에 도입돼 있고, 2세대 제품도 내년 상반기를 목표로 개발하고 있다"고 설명했다.

신성이엔지 EDM(사진=장경윤 기자)

ICF(내장형 케미컬필터)도 최근 반도체 분야에서 괄목할 만한 성과를 거뒀다. ICF는 클린룸 상단에 위치한 FFU에 탑재돼, 각종 유해가스를 제거하는 케미컬필터다. 기존 FFU 상부에 위치해있던 방식 대비 약 300mm가량 두께를 줄일 수 있다.

덕분에 ICF를 활용하면 층고 간섭물에 대한 설치 유연성을 확보할 수 있고, 공기 흐름 개선으로 운전 에너지를 저감할 수 있게 된다.

이 부사장은 "ICF는 디스플레이 산업에 우선 적용돼, 주요 메모리 고객사향으로도 평가는 완료했다"며 "올해부터 반도체 산업으로도 양산 공급이 시작될 것"이라고 밝혔다.

클린룸 시장 전망에 대해서는 내년과 내후년까지 긍정적인 흐름이 이어질 것으로 내다봤다. 국내 주요 고객사들이 메모리 재고 감소로 신규 및 전환 투자를 진행하고 있고, 미국 등 해외 팹 건설 프로젝트도 진행되고 있기 때문이다.

이 부사장은 "반도체 산업에서 당분간 인프라 투자가 활발히 진행될 것으로 예상한다"며 "또한 클린룸 내 에너지 소모량 저감, 장비 내 AI 기술 적용으로 에너지 효율성을 높이는 기술 등을 고객사와 논의하고 있어, 중장기적으로 매출 증대 효과를 거둘 수 있을 것"이라고 강조했다.