반도체 검사장비 전문기업 팸텍은 자동화 반도체 분석용 시스템 특허를 출원했다고 17일 밝혔다.
이번 '자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템' 특허는 다수 반도체 웨이퍼 샘플을 절단부터 폴리싱하는 과정까지 모두 자동화해 생산성과 공정 신뢰도 향상을 목표로 한다.
팸텍 관계자는 "최근 반도체 디바이스의 제조공정 중 신규 소재 적용에 따른 구조의 미세화 촉진으로 인한 초기 불량이나 일정 시간 가동 후 고장이 빈번하게 나타나고 있다"며 "결함 해석이 중요성을 더해가고 있어 해외 특허출원도 준비 중이다"라고 전했다.
한편 팸텍은 지난달 29일 열린 임시주주총회에서 하나금융19호스팩과 합병승인 안건을 가결해 오는 5월 상장을 앞두고 있다.
