미국 반도체 소프트웨어 회사 프랙틸리아는 20일 ‘프랙틸리아 자동화 측정 환경(FAME)’으로 주사전자현미경(SEM) 장비를 연결하는 ‘프랙틸리아 챌린지’ 프로그램을 반도체 칩 제조사에 조건 없이 제공한다고 밝혔다.
BKM(best known method·반도체 업계에서 주어진 과정을 얼마나 잘 수행하는지 평가하는 기준)을 사용해 SEM 장비로 실험에 참여할 칩 제조사를 모집한다.
칩 제조사가 SEM 이미지를 보내면 프랙틸리아는 FAME으로 분석해 SEM 장비 성능, SEM 장비 간 매칭 가능성, 처리량 개선 보고서를 준다.
FAME은 첨단 노드 공정에서 패터닝 오류의 주된 원인인 최소 선폭(CD)과 다양한 스토캐스틱 효과를 측정한다고 프랙틸리아는 설명했다.
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프랙틸리아 챌린지는 기존 고객의 SEM 장비 간 매칭을 5~20배 개선하고 SEM 장비의 처리량을 30% 늘린다고 프랙틸리아는 강조했다. 같은 세대와 유형의 SEM 장비뿐 아니라 다른 세대나 다른 회사 SEM 장비도 연결할 수 있다.
FAME으로 SEM 장비를 매칭하면 공정 수율을 높이고 새로운 장비 구입 비용은 아낄 수 있다고 프랙틸리아는 주장했다.
