ASML, 동탄에 반도체 장비 시설 착공…2400억 투자

역대 최대 해외 투자…EUV교육·수리 시설 등 건립

세계 최대 반도체 노광 장비 기업 네덜란드 ASML이 16일 경기 화성시 동탄2신도시에서 새 사옥을 짓기 시작했다. 2024년 12월 입주하는 게 목표다.

ASML은 반도체 업계에서 을의 입장이지만 갑보다 힘이 세다는 뜻에서 ‘슈퍼 을’로 불린다. 7㎚(나노미터·10억분의 1ｍ) 이하 반도체 미세 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비를 1년에 45대 안팎으로 세계에서 유일하게 생산한다.

ASML이 경기 화성시 동탄2신도시에 새로 짓는 사옥(왼쪽)과 반도체 장비 시설(사진=ASML)

ASML은 화성시 동탄2신도시 도시지원시설 용지 1만6천㎡(약 5천평)에 1천500명 수용할 수 있는 반도체 시설을 짓기로 했다. 근처에 삼성전자 반도체 공장이 있다. 

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 지난해 11월 경기 화성시 ASML 한국지사를 찾아 “2025년까지 동탄에 2천400억원을 투자하겠다”고 발표했다. ASML이 해외 지사에 투자하는 금액 중 가장 많은 액수라고 경기도는 전했다.

ASML은 이곳에 한국지사 신사옥과 함께 재제조센터(Local Repair Center), 심자외선(DUV)·EUV 트레이닝센터, 체험관(Experience Center)을 꾸린다. 재제조센터는 장비를 고쳐 재생하는 공간이다. 트레이닝센터에서는 ASML과 고객사 직원이 EUV 장비에 대해 배울 수 있다. 체험관은 반도체 제조 공정과 ASML 기술 역사를 볼 수 있는 전시장, 어린이 과학 캠프장, 채용 행사장 등을 포함한다.

16일 경기 화성시에서 열린 ASML 신사옥 착공식에서 관계자들이 기념 사진을 찍고 있다.(사진=경기도)

김동연 경기도지사는 이날 착공식에 참석해 “네덜란드와 함께 경기도를 세계적인 반도체 중심지로 조성할 것”이라며 “단순히 공장 지어 제품을 공급하는 데에서 나아가 미래 기술을 확보하고 인재를 양성하는 반도체 생태계를 만들고 싶다”고 말했다.

산업통상자원부는 후속 투자를 한국으로 유치하기 위해 ASML을 계속 지원하겠다고 약속했다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(왼쪽)와 김동연 경기도지사가 16일 경기 화성시에서 열린 ASML 신사옥 착공식에서 기념 사진을 찍고 있다.(사진=경기도)

베닝크 CEO는 “새로운 화성사업장 지을 땅을 고르는 데 경기도지사가 많이 도와줬다”며 “한국지사 규모를 10년 안에 2배로 키울 것”이라고 화답했다.