네덜란드 반도체 장비 회사 ASML의 차세대 극자외선(EUV) 공정 반도체 생산 장비를 국내에 들여올 길이 열린다. ASML은 최첨단 EUV 공정 반도체 장비를 세계에서 유일하게 공급한다.
산업통상자원부는 12일 반도체 산업에서 쓰는 고압가스 안전 혁신 과제 11건을 선정했다. 규제를 손봐 기업 부담을 덜기로 했다.
차세대 EUV 장비 국내 도입 기준을 뜯어고친다. 슈퍼듀플렉스강을 비롯해 미국 기계학회(ASME)가 인정한 소재로 만든 배관을 국내에서 고압가스 배관으로 쓰게끔 안전성을 검토한다. 가스 상세 기준을 개정해 국내에 들일 수 있게 할 예정이다. 현재 고압가스 법령에 슈퍼듀플렉스강 같은 신소재 배관 사용 규정이 없어 이런 최첨단 장비를 국내에 들여올 수 없다. 슈퍼듀플렉스강은 이중 구조로 된 새로운 소재다. 스테인레스강보다 녹슬지 않는다고 알려졌다.
산업부는 방호벽 설치 기준도 다양하게 허용하기로 했다. 고압가스가 터질 때를 대비해 주택이나 학교 근처에 방호벽을 세워야 한다. 산업부는 가스 상세 기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인하면 케미컬앵커처럼 다양한 지주 설치 방법을 허용하기로 했다. 케미컬앵커는 접착제 성분의 화학적 물질로 방호벽과 방호벽 지주를 고정하는 방식이다. 방호벽도 기존 방호벽 재질과 같은 안전 수준이면 강판제 등 다양한 재질 방호벽을 쓰도록 한다. 산업부는 반도체 공장에서 공간을 활용할 수 있다고 기대했다. 기존에는 두꺼운 콘크리트 재질 방호벽만 세우게 해 반도체 공장을 증설하는 데 걸림돌이었다.
산업부는 반도체 공장 안에서 용기를 보관하는 기준도 개선하기로 했다. 반도체 공장에는 가스 용기를 보관하려고 공기를 빼내는 배기 안전 장치가 설치된 강판제 용기 보관함 ‘저장용 실린더 캐비닛’이 있다. 산업부는 전문가 검토를 거쳐 저장용 실린더 캐비닛 안전성을 검증하기로 했다. 지붕을 가벼운 불연 재료로 쓰도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 반도체 공장이 쉽게 복층으로 증설하도록 돕기로 했다. 지금껏 저장용 실린더 캐비닛을 공장 안에 설치하려면 설치 장소 지붕을 가벼운 불연 재료로만 써야 했다. 복층으로 공장으로 증설할 때 지붕이 가벼우면 위층의 바닥이 돼 하중을 견디기 어려웠고 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란했다.
박일준 산업부 차관은 “반도체 초강대국을 달성하는 기폭제가 되도록 혁신 과제를 빠르게 추진하겠다”며 “반도체 산업뿐만 아니라 에너지 분야 안전과 관련된 다른 산업에서도 안전과 산업 발전 균형을 이루겠다”고 말했다.
