크라이오 H&I, 20억원 규모 시리즈A 투자금 유치

국내 유일 초저온진공펌프 기술 보유

반도체ㆍ디스플레이입력 :2021/06/15 10:01

반도체·디스플레이 생산공정용 초저온진공펌프(크라이오펌프) 핵심 기술을 보유 중인 크라이오 에이치앤아이(Cryo H&I)는 최근 20억원 규모의 시리즈A 투자유치에 성공했다고 15일 밝혔다.

이번 투자엔 IBK기업은행·퀀텀벤쳐스코리아 등이 참여했다.

크라이오 에이치앤아이는 자사가 보유한 크라이오 펌프 기술과 향후 사업 역량 등에서 높은 평가를 받아 투자를 유치할 수 있었다고 설명했다. 회사는 이번에 조달한 자금을 생산 공간 확장과 연구개발(R&D)에 활용할 예정이다.

크라이오는 '극저온'이라는 뜻이다. 기체 분자를 차갑게 해 운동 에너지를 없애고 펌프 내에 얼려 붙잡아 둔 뒤 제거하면서 진공을 만드는 방식이다. 산소나 수분에 취약한 첨단 공정에 이 기술이 활용된다.

반도체에선 이온 임플란트(Ion implant)과 메탈 스퍼터링(Sputtering) 공정에, 디스플레이에선 유기발광다이오드(OLED) 증착과 옥사이드 스퍼터링 공정에 이 방식이 쓰인다.

사진=크라이오 H&I

크라이오 펌프 시장은 현재 일본 알박과 스미토모와 유럽 업체들이 장악하고 있다.

회사 관계자는 "이번 투자유치를 통해 국산화는 물론이고 글로벌 1등 크라이오 펌프 생산회사로 거듭날 계획"이라고 했다.

크라이오 에이치앤아이가 국내에서 유일하게 보유 중인 초저온냉동기 제조기술은 향후 수소액화장치, 냉동물류, 바이오헬스케어, 양자컴퓨팅 분야에도 응용 가능하다. 최근 코로나19 백신 공급 문제로 콜드체인이 부각되면서 초저온 기술도 새롭게 각광받는 상황이다.

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이번 투자에 참여한 투자사 심사역은 "크라이오 H&I는 국내 유일의 냉동기 기술 보유 회사로 최근 초저온과 관련한 응용분야 가치가 매우 큰 상황이기에 투자를 단행했다"며 "초저온 기술은 수소 분야에도 적용 가능해 수소경제를 국산화 기술로 이끌 수 있을 것으로 기대한다"고 했다.

한편, 지난해 8월 설립된 이 회사는 지난해 현민GVT의 크라이오펌프 사업부를 지난해 인수한 후 사업 확장에 나섰다.