제주대학교 최경현 교수 연구팀은 산·학·연 공동 연구 결과로 '롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비(ALD)'를 개발했다고 28일 밝혔다.
ALD는 원자층 증착법을 이용한 증착공정 기술로, ALD 금속을 포함한 원료와 반응 가스를 교차하며 주입해 원자 단위로 박막을 성장시키는 방식이다. 균일도가 높은 치밀한 박막을 넓은 면적으로 성장시킬 수 있어 기존의 CVD 방식보다 플렉서블 OLED 패널의 수명과 성능을 끌어올릴 수 있다.
제주대 연구팀은 ALD의 양산성을 개선한 저온·상압 환경에서의 고품질 및 고균일한 박막 패턴 제조가 가능한 원천 기술과 롤투롤 연속공정 상에서 고품질, 고균일성을 갖는 박막 패턴 원천 기술을 적용한 공정 장비를 개발했다.
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최경현 교수는 “선택적 박막 봉지, TFT, OLED 디스플레이, OPV 분야에 적용 가능한 유연소자로 기술시장 선점이 가능하여 산업적 파급효과가 매우 클 것으로 예상된다”고 말했다.
한편, 이번 연구는 산업통상자원부의 산업원천기술개발사업을 통해 약 5년간 약 62억원을 지원받아 수행됐다.
