LGD·연세대, 초미세 포토리소그래피 기술 개발

수십 나노미터 크기 패턴 구현에 성공..."디스플레이 발전 이끌 씨드 기술"

LG디스플레이는 13일 연세대 신소재공학과 심우영 교수 연구팀이 수행한 포토리소그래피 연구결과가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 밝혔다.

포토리소그래피는 반도체와 디스플레이를 제조하는 과정에서 원하는 회로를 형성하는 제조공정을 말한다.

연세대 연구팀은 유연하고 투명한 특성을 갖춘 새로운 포토마스크(회로 패턴이 그려진 기판)를 이용해 기존 포토마스크로는 불가능했던 수십 나노미터(nm=10억분의 1미터) 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 성공했다.

심우영 연세대 신소재공학과 교수. (사진=LGD)

초미세 패턴으로 만드는 섬세한 전자회로는 고해상도를 구현하는데 필수적이다. 나아가 유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용이 가능해 다양한 형태의 디스플레이를 생산하는데 활용할 수 있다.

이번 논문의 공동 저자인 장기석 LG 디스플레이 박사는 "이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드 기술"이라고 의미를 전했다.

한편, 이번 연구는 LG디스플레이가 지난 2015년부터 운영 중인 'LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 통해 진행됐다.