에스앤에스텍, 신소재 적용 블랭크마스크 양산

신제품 통해 연간 150억원 신규 매출 기대

블랭크마스크 전문 업체 에스앤에스텍(대표 남기수)은 신소재를 적용한 블랭크마스크 신제품으로 부가가치가 높은 하이엔드 시장 공략을 강화한다고 23일 밝혔다.

에스앤에스텍이 새롭게 양산한 제품은 반도체용인 193nm(나노미터) 노광기에 사용되는 위상변이 마스크(PSM) 및 하드필름을 적용한 하드마스크용 블랭크마스크, 박막 특성이 개선된 디스플레이용 블랭크마스크다.

위상변이 마스크란 노광 공정시 발생하는 빛의 회절 및 간섭 등을 보정하기 위해 빛의 위상을 180도 반전시킨 마스크로 더욱 미세한 패턴 형성을 가능하게 해준다.

블랭크 마스크는 반도체 및 평판디스플레이(FPD) 공정의 핵심 부품소재인 포토마스크의 원재료로 석영유리기판 위에 회로패턴이 형성되기 전 차광막, 반사방지막, 감광막 등을 입히는 방식으로 생산된다.

최첨단 반도체 제조 공정에 사용되는 하드마스크용 블랭크마스크는 고해상도 구현이 가능한 제품으로 빛을 차광하는 필름의 물질을 변경해 우수한 패턴 회로 정밀도를 갖는 것이 장점이다.

또 박막 특성이 개선된 디스플레이용 블랭크마스크는 기존 박막 특성 대비 박막의 균일도, 경도 및 화학약품에 대한 내구성 등이 개선된 제품으로 포토마스크 및 패널 제조 공정에서 여유도 및 사용 수명이 증가하는 것이 특징이다.

에스앤에스텍은 최근 차세대 제품 시장 확대로 인해 미세 패턴 기술이 적용된 포토마스크의 수요가 증가하고 있어 이에 맞는 고사양 소재의 신제품을 개발, 성장을 이어간다는 계획이다.

개발을 완료한 차세대 반도체용 위상변이 마스크는 현재 국내 반도체 회사에 납품 중이며 대만과 중국 고객사의 품질 승인 절차를 진행 중이다.

에스앤에스텍은 이번에 개발한 신제품을 통해 올해 4분기 이후 연간 약 150억원의 신규 매출 창출이 가능할 것으로 기대하고 있다.

에스앤에스텍 관계자는 올해 반도체 및 디스플레이용 재료 분야에서 고사양 제품의 비중을 확대해 새로운 성장 동력을 확보하게 됐다며 앞으로 신규 제품을 통해 글로벌 부품 소재 전문기업으로 성장하기 위해 노력할 것이라고 말했다.