인텔 이어 TSMC도 ASML에 1조원대 투자

반도체 시장 1위 인텔, 반도체 파운드리 시장 1위 TSMC가 반도체 장비 업체 ASML에 대해 잇달아 지분 투자를 발표했다. 이제 삼성전자의 결정에 관심이 쏠린다.

5일(현지시간) 네덜란드 장비업체 ASML은 TSMC가 11억유로(한화 약 1조5천억원) 규모의 투자를 결정했다고 발표했다. 개발에 2천7천만, 지분투자 8억3천만 유로 등이다. TSMC는 투자를 통해 5%의 ASML 지분도 획득하게 된다.

지난달 인텔은 ASML에 총 41억달러(한화 4조6천억원) 규모의 투자를 하겠다고 발표한 바 있다. 인텔은 이미 ASML 15% 규모의 지분을 획득했다. 인텔이 먼저 15% 규모 지분, 이어 TSMC가 5% 지분을 가져가면서 삼성전자가 투자할 수 있는 지분은 5% 정도가 남았다.ASML은 신기술 개발과 관련 삼성전자, 인텔, TSMC 등에 25% 지분에 대한 투자를 요청한 바 있다.

삼성전자는 이달 안에 지분투자 여부를 확정할 전망이다. 삼성전자 관계자는 “아직 확정된 것이 없다”고 말했다. 관련업계는 삼성전자의 지분 투자 가능성을 높게 보고 있다.

대형 반도체 업체들이 모두 관심을 갖는 ASML은 네덜란드 반도체 장비업체다. 장비 시장 글로벌 1위로 리소그래피 장비를 개발하고 있다. EUV(극자외선) 등 미세공정, 450mm 웨이퍼 핵심 장비를 개발했다. 전 세계 반도체 업계가 주목하고 있다.

EUV는 자외선의 짧은 파장을 쪼여 현재보다 더 미세한 전자회로 패턴을 그릴 수 있는 장비다. 450mm 웨이퍼는 현재 주력제품인 300mm 웨이퍼보다 1.5배 더 큰 크기로 더 많은 칩을 한꺼번에 만들 수 있어 공정비용을 절감할 수 있지만 현재 장비는 테스트 수준이다.