에피밸리, 6인치 LED 웨이퍼 양산 가능성 확인

에피밸리(대표 장훈철)는 한국전자통신연구원(ETRI) 공동으로 기술개발을 진행한 6인치 LED 에피웨이퍼 공정기술 결과보고서가 제출됐다고 19일 밝혔다.

이번 결과보고서는 양산 적용 가능성이 확인됐다는 의미로 에피밸리는 ETRI와의 지속적인 업무관계를 계속 유지하면서 6인치 에피웨이퍼 양산적용에 더욱 박차를 가할 계획이다.

에피밸리는 지난해 11월 에피밸리가 에피웨이퍼 제조 및 평가를 담당하고 ETRI가 6인치 포토리쏘그라피(Photolithography) 칩 제조라인 사용, 공정기술 지원을 담당하는 ‘LED용 6인치 에피웨이퍼 및 칩 공정 개발’에 대한 기술지원사업 협약서를 체결하고 연구개발을 진행해 왔다.

대부분의 LED 업체들이 2인치 에피웨이퍼를 사용하고 있으며 몇몇 업체들이 4인치 웨이퍼 양산을 시도하고 있으나 6인치 웨이퍼의 경우 현재까지 전세계적으로 그 성공 사례를 찾기 어렵다.

지난 2008년 LED 4인치 에피웨이퍼 공정기술을 확보한 에피밸리는 “이번에 개발을 진행하고 있는 6인치 에피웨이퍼의 경우 두께가 1.0mm로 현재 경쟁사가 개발 중인 1.3mm 두께 웨이퍼에 비해 30% 가량 얇다”며 “6인치 웨이퍼를 양산라인에 적용할 경우 2인치 대비 35% 이상 생산량이 증가될 것”으로 기대했다.

에피밸리 장훈철 대표는 “6인치 공정기술을 적용하면 웨이퍼 가격 등 생산비용이 20% 상승하지만 생산량 증가, 공정시간 단축, 웨이퍼 관리 측면에서 오히려 이익으로 작용해 에피웨이퍼, 칩 제조공정에서 눈에 보이는 수익성 증대를 가져올 수 있다”고 설명했다.