반도체 제조의 핵심 부품인 나노급 필터가 그동안 전량 수입에 의존했지만, 자립화에 성공해 국내 생산을 본격화 한다.
나노급 필터 제조기업 시노펙스는 17일 동탄 공장에서 신규 생산라인 준공식을 개최했다. 이날 행사에는 산업통상자원부 이승렬 산업정책실장과 한국산업기술평가관리원(KEIT), STI 등 업계 관계자들이 참석했다.
나노급 필터는 반도체 세정용 화학물질의 불순물을 정제하는 핵심 부품으로, 필터의 성능이 반도체 수율과 직결된다. 특히 반도체 선폭이 미세화되면서 초미세 오염물질 제거를 위한 세정 공정의 중요성이 더욱 부각되고 있다.
이번 생산라인 준공으로 시노펙스는 국내 수요 100% 이상의 생산 능력을 가진 공장을 국내에 확보할 수 있게 됐다. 시노펙스는 연 1천200억원(1만개) 규모 나노필터 양산 설비를 구축할 예정이다. 시노펙스가 나노급 필터를 생산해 STI와 같은 세정 장비사에 공급하고, 이를 삼성전자와 SK하이닉스 등으로 공급하는 구조다.
이는 수요-공급기업 간 상생협력의 결실이다. 국내 반도체 세정 장비업체들이 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술개발을 요청했고, 시노펙스는 이에 부응해 고품질 나노필터 개발에 착수했다. 산업부는 '소부장 협력모델'을 통해 2020년부터 3년간 연구개발(R&D) 123억원을 지원하며 이를 뒷받침했다.
이날 준공식 후에는 '반도체 소부장 수요-공급기업 간담회'가 열렸다. 이 자리에서는 기술 선점을 위한 공동 R&D 협력, 반도체 핵심 소부장의 국내 생산 촉진, 글로벌 통상 환경 변화 대응 등 반도체 산업 경쟁력 강화 방안이 논의됐다.
이승렬 산업정책실장은 "첨단 산업 경쟁력 확보와 공급망 강화를 위해서는 수요·공급기업 간 협력이 중요하다"며 "지난 12월 10일 '소부장 특별법' 개정으로 소부장 특별회계가 5년 연장되고 ‘소부장 및 공급망 안정화 특별회계’로 확대 개편된 만큼, 정부는 첨단산업 초격차 연구개발(R&D) 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 지속 확대해 나가겠다"고 강조했다.
