큐알티, 반도체 테스트 '표면 물성 분석 사업' 확장

2차이온질량분석 장비 특허 등록...분석 안정성 확보

반도체 신뢰성 분석 기업 큐알티(대표 김영부, QRT)가 ‘2차이온 질량분석(SIMS, Secondary Ion Mass Spectrometry)’ 기술을 통해 표면 물성 분석 사업 영역을 확장한다고 1일 밝혔다.

큐알티 로고

2차이온질량분석기는 1차이온빔 장비에서 만들어진 1차이온을 고체 상태의 분석 시편 표면에 충돌시키고, 분석 시편의 표면에서 방출되는 2차이온의 구성 원소 및 농도를 분석해 주는 연구 장비다.

큐알티는 초미세 2차이온질량분석기, 시간분해 2차이온질량분석기, X선광전자분광기, 오제전자분광기 등 장비 인프라를 보유한 국가 기관들과 손잡고 표면 물성 분석 서비스를 강화한다. 전반적인 반도체 신뢰성 평가 기술력을 고도화하겠다는 전략이다.

큐알티는 비행시간형 2차이온질량분석기(TOF-SIMS), 나노영역 2차이온질량분석기(Nano-SIMS), 동적 2차이온질량분석기(D-SIMS) 등 3가지 장비를 통해 표면 물성 분석을 제공한다. 나노미터 단위 크기의 물질을 분석할 경우 대상물의 원소 분포까지도 이미지화가 가능하다.

큐알티는 표면 물성 분석 서비스의 기술 경쟁력을 더 높이기 위해 최근 ‘2차 이온 질량 분석 장비의 시편 구조체 제조 및 분석 방법’의 특허도 등록했다. 2차이온질량분석기를 이용한 ppm레벨의 정밀한 분석이 가능하도록 시편 제조를 보다 세밀하고 신속하게 수행하는 기술이다. 1차이온빔 조사 시 발생할 수 있는 스파크를 효과적으로 방지해 2차이온질량분석을 안정적으로 진행할 수 있는 것이 특징이다.

재료 표면 원소 맵핑 및 내부 뎁스 프로파일링 분석 사례 (사진=큐알티)

허수봉 큐알티 수석연구원은 "물질이 작아질수록 광학적 특성, 전기적 특성, 물리적 특성 등이 달라지기 때문에 반도체 산업이 첨단화될수록 표면물성 분석의 중요성이 더욱 커진다"며 "약 35년간 축적해 온 자사의 반도체 신뢰성 분석 기술을 바탕으로 표면 물성 분석 서비스를 제공해 국내 반도체 소부장 산업의 경쟁력 강화에 나설 것"이라고 전했다.