AMAT, 초고선택비 식각 장비 출시

원자 수준 식각 정밀도, 선택비 제공

어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 초고선택비를 제공하는 식각 장비 ‘어플라이드 프로듀서 셀렉트라’를 출시했다고 30일 밝혔다.

셀렉트라 시스템은 가장 작은 공간까지 침투해 다양한 종류의 유전체, 금속, 반도체 등 표면에서 원자수준의 식각 정밀도와 선택비를 제공한다. 정확한 잔여물 처리와 다른 물질에 손상을 주지 않고 타겟 물질을 식각하는 정밀도를 갖추고 있다.

점차 중요성이 커지고 있는 식각 공정이 적용되는 패터닝과 로직, 파운드리, 3D낸드, D램 등 미세공정 칩 생산 시장을 겨냥하고 있다.

샨카 벤카타라만 어플라이드머티어리얼즈 식각 장비 부문 부사장은 “고집적도 칩 생산이 점차 어려워지는 이유 중 하나는 다층 구조상에서 다른 층의 물질을 손상하지 않고 원하는 물질을 선택적으로 식각해야 하기 때문”이라며 “셀렉트라 시스템은 무어의 법칙 구현에 요구되는 높은 수준의 선택비(Selectivity)를 제공하는 가장 최신의 혁신적인 반도체 장비로, 새로운 시장 기회를 제공할 것으로 기대한다”고 설명했다.