플라즈마 기술이전 중기, 반도체공정 SW 국산화

미래창조과학부는 국가핵융합연구소에 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크(대표 서광원)가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어 국산화에 성공, 삼성전자에 공급한다고 13일 밝혔다.

K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 공정 가운데 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어다. 경원테크는 핵융합연, 표준연, 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 이 소프트웨어 개발에 성공했다. 나아가 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결했다.

기술 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 됐다고 미래부는 설명했다. 현재 이 기술은 외국 업체에 의존하고 있다. 때문에 새로운 반도체 제조 공정개발과 구조 개발에 활용될 것으로 기대되며, 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사의 공정기술 해외 유출을 방지하는 효과도 얻게 됐다.

K-Speed는 GPU 기반의 병렬화 성공을 통해 기존 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상 계산 시간을 줄였다. 기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는 것과 달리 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산한다.

이 소프트웨어는 향후 다수의 국내외 기업으로 판매가 예상되며, 경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다.

서광원 경원테크 대표는 “출연연과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 되었다”며 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합(연)에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것”이라고 말했다.